1、長(zhǎng)度計(jì)采用高精度盡快光柵作為傳感器件,精度高,可達(dá)±0.2um,重復(fù)性精度高小于0.1um;
2、大量程范圍,測(cè)量范圍100mm,簡(jiǎn)化測(cè)量設(shè)備的檢定過(guò)程,滿足可跟蹤性要求;
3、應(yīng)用廣泛,自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備、手動(dòng)測(cè)量站或定位設(shè)備-無(wú)論是長(zhǎng)度、間距、高度、厚度或直線位移都可以用測(cè)微計(jì)快速、精確和可靠的測(cè)量.
量程與精度 | |
量程 | (0~25)mm (0-50)mm (0-100)mm |
分辨力 | 0.01μm |
重復(fù)性 | ≤0.1μm(測(cè)量10次顯示值的最大變化量) |
示值誤差 | 全程示值誤差≤0.4μm |
驅(qū)動(dòng)方式與測(cè)量力 | |
驅(qū)動(dòng)方式 | 采用被測(cè)物驅(qū)動(dòng),自動(dòng)復(fù)位 |
測(cè)量接觸力 | 0.2N-0.9N之間 |
測(cè)量運(yùn)動(dòng)速度 | 不超過(guò)7.2m/s |
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